常用残余气体分析仪

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　 规格 技术参数 用途 　
有机气体残余气体浓度计 TBD5Gas2290 55ppb- 残余气体浓度监测 　
在线气体浓度计 TCD2220 0.01-100% 残余气体浓度连续分析

热导率气体分析仪主要用于二元气体或准二元混合气体的相对浓度。对氢气或氦气有较高的选择性。

 　
四极质谱仪 QMS2740 CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb 残余气体分析仪是一种可用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测极限 　
其它残余气体分析方案 　 　 　 　

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常见气体仪器检索

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